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GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等离子溅射仪

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更新时间：2022-12-12 17:50:35浏览次数：241次

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产品简介

GSL-1100X-SPC-16M是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪，采用双旋片机械泵进行抽真空

详细介绍

GSL-1100X-SPC-16M 是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪，采用双旋片机械泵进行抽真空。一个磁控管与Peltier 冷却装置安装在机器的顶部,，这将提供强有力的溅射能源，产生更好和更快的涂层，特别适用于金属靶材,比如铝，锌和镁. 仪器中包含一个金靶和真空系统。

技术参数

工作电压	110V or 220V 50/60 Hz
输出功率	< 2000W (包含真空泵)
输出电压	1600VDC 电流：50mA
样品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
样品载物台	一个外径50 mm 样品载物台溅射面积: 45 mm
配件包括	仪器中包含有一直联式双旋机械泵，可使反应腔体真空度达到10-2 torr 用一个KF25的波纹管把真空泵和仪器相连接可以选购一个循环水冷机16L/min
可通入气体	通过针阀通入氩气，能实现更好的等离子涂层
靶材	标配靶材：包含：Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs 可选靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)
外形尺寸	L360mm x W300mm x H380mm

重量	50 kg
质保期和质量认证	一年质保期，终身维护 CE Certified