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科晶 GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

参考价: ￥ 26000

订货量: ≥1 台

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更新时间：2022-11-27 18:24:01浏览次数：329次

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上海新诺仪器集团有限公司

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产品简介

一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。

详细介绍

沈阳科晶 GSL-1100X-SPC-16型单靶等离子溅射仪

仪器概述：

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。

主要技术特点：

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得良好的镀膜效果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

6、已通过CE认证。

主要技术参数：

产品型号	GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：不需要
技术参数	1、电源：220V 2、总功率：<2000W（包括真空泵） 3、真空室：Ø160mm×120mm 4、样品台：Ø50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、均匀镀膜：Ø45mm
产品规格	1、尺寸：400mm×300mm×400mm 2、重量：30kg
标准配件	1	金靶材	1个
	2	进气针阀	1个
	3	保险丝	2个
可选配件	金、铟、银、铂等各种靶材