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离子溅射仪

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更新时间：2022-11-11 16:43:08浏览次数：248次

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河南诺巴迪材料科技有限公司

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产品简介

详细介绍

设备简介：

NBD-LJ13离子溅射仪为扫描电镜制作样品而设计，结构简单、操作使用直观方便等特点。不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射，可作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。

配置详情

产品型号：NBD-LJ13

		主要特点 1.采用4C真空泵，各方面降噪，提升实验感受； 2.标配样品室真空表和溅射电流表，实时显示和监控仪器状态； 3.边缘橡胶密封圈，长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边"现象。 4.配置溅射电流控制器和微型真空气阀。结合自动控制电路，轻松控制真空室压强、电离电流，并可任意选择所需电离气体，以获得很好的镀膜效果； 5.标配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶，溅射范围更大；
		控制面板：真空表：真空度的计量单位mmHg或Pa相对应的刻在表盘上，可方便的读出工作室内的真空度。电流表：显示溅射电流值单位(mA)。微调阀(充气阀)：用于向工作室内进行充气，试验按钮：配合针阀设置，以便获得满意的溅射电流值（小于10mA）。溅射按钮：当“实验"按钮电流小于10mA时，可以按“溅射"按钮，对样品进行离子溅射。时间设定开关：控制离子溅射时间，定时开关10～110S. 电源开关：控制仪器机箱电源及机械泵的通断。
		高纯石英真空腔体Φ130（内118）*130mm 样品台尺寸：Φ42mm 样品台可调高度：75mm
电气规格	AC220V 120W
腔体尺寸	Φ130（内118）*130mm
样品台尺寸	Φ42mm
样品台可调高度	样品台可调高度：75mm
样品温度	＜35~50℃
适用靶材	贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pb 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等
溅射速度	一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100-300Å,采用经验法测定厚度，可由下面的公式得到 d = KIVT 其中： d：是镀膜厚度(单位Å) K：是常数，取决于溅射金属和所充气体(采用金靶和氩气时K为0.17，金靶和空气K为0.07)，此时靶与样品之间的距离 I：是等离子流(单位mA) V：是所施电压(单位kv) T“"是时间(单位s)。例如采用金靶和氩气，l为8mA,T为100秒，V为1KV 则, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136Å 即每秒1.36Å 溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度，因此保护工作室的清洁十分重要。其它金属靶的溅射速度，例如铂靶大约是金靶一半的速度，金一铂靶则具有与金靶非常接近的溅射速度。
设备使用注意事项	1.靶材的更换先拔下溅射盖板上高压和地线插头，拿下溅射盖板，松开三只顶丝，拿下保护板，然后拧下压环就可以更换新靶。 2.真空工作室清洗腔体工作室用无水乙醇、丙酮清洗，以保证系统能正常工作。 3、针阀使用针阀关闭后再反向拧两圈，以防止针阀长时间不用出现阀针回弹不灵活的现象。如遇到打开针阀时不向工作室放气，请将针阀钮拧到底后再重新打开即可。
标配	1.NBD-4C真空泵； 2 金靶1只：Φ58*0.12 3.说明书一份.（可选配分子泵）
服务支持	一年保修，提供终身服务；
净重	25KG