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北京壮仕科技有限公司
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特点特别为SEM样品镀导电性薄膜设计体积小巧，操作简单，容易上手
| 特点 | 特别为SEM样品镀导电性薄膜设计
体积小巧，操作简单，容易上手。
拥有小型磁控靶头，可以镀金银铂等金属。 | |||||||||||||||
| 主要参数 | 输入电源：220V AC 50/60Hz
功率：200W
输出电压：500 VDC
溅射电流：0-50 mA可调
溅射时间：0-120S可调 | |||||||||||||||
| 溅射腔体 | 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封：采用不锈钢平法兰的O形密封圈 | |||||||||||||||
| 溅射头&样品台 | 溅射头可安装靶材直径为2英寸，厚度0.1 - 2.5mm
溅射时间1-120S可调
仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台，其与溅射头之间距离可调。
可选购加热型样品台，其加热温度为500℃
安装有一可手动操作的溅射挡板，可进行预溅射。
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| 真空系统 | 安装有KF25真空接口
数字真空压力表（Pa）
此系统可通入气体运行
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可在本公司选购各种真空泵 | |||||||||||||||
| 进气 | 设备上配1/4英寸进气口，方便连接气瓶
设备前面板上装有一气流调节旋钮，方便调节气流 | |||||||||||||||
| 靶材 | 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
此设备标配为铜靶
可在本公司选购各种靶材 | |||||||||||||||
| 薄膜测厚仪（可选） | 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上 | |||||||||||||||
| 产品外型尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm 净重：20 kg（不包括泵） | |||||||||||||||
| 质量认证 | CE认证 | |||||||||||||||
| 质保 | 一年保修，终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 | |||||||||||||||
| 各种靶材的参数（仅供参考） | 对于溅射各种金属靶材，需要摸索的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数，欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺（仅供参考，详情请点击）
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| 使用提示 | l有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜
l在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
l要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面
l超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声，（2）异丙醇超声-去除油脂，（3）吹氮气干燥，（4）真空烘箱除去水分。
l等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物。
l制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力。
l请使用>5N纯度氩气等离子体溅射
l溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射
l由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节
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| 警告 | 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。
气瓶上应安装减压阀（不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕
溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶头。 |
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