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离子溅射仪

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更新时间：2022-11-26 19:06:07浏览次数：224次

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北京达济科仪科技有限公司

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产品简介

离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，、可靠、经济的镀膜设备

详细介绍

离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，、可靠、经济的镀膜设备。

适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。

特点：

1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得镀膜效果；
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
5. 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

配置参数：
1、靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.12mm
2、真空样品室：直径：160mm，高：120mm
3、溅射面积： Ф50mm，放置
4、真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar
5、离子电流表：电流：50mA(100mA)
6、定时器：最长时间：900S
7、微型真空气阀：可连接φ3mm软管
8、可通入气体：多种
9、电压： -1600（-3000）DCV
10、机械泵： 2L/S

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