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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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德国 PVA TePla 等离子清洗机 IoN 100 WB , 是推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备,可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。
德国 PVA TePla 等离子清洗机
型号：IoN 100 WB等离子清洗机
IoN 100 WB是我们推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源于IoN 100系列，IoN 100 WB延续了同样的高品质保障，包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造。
IoN 100 WB旨在满足客户大批量生产的需求，着重于表面处理的多功能性和可控性。其*的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、生命科学等领域严格的控制要求。IoN 100 WB结构紧凑，集成度高，采用射频（RF）频率激发等离子体。
IoN 100 WB的另一个之处是可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。
*的功能特性：
● 触摸屏操作，图形用户界面（GUI）
● 可配置的腔室可使用不同类型电极，适用于大批量处理或特殊的垂直悬挂处理
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 工艺员、操作元、维护员访问权限控制
● 自诊断功能和警报记录功能，联网在线诊断功能
● 以太网远程控制功能
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷
规格参数
工作腔室材料 ：铝（标配）
容积：107 升
内部尺寸 ：375 x 375 x 762 mm（宽/高/深）
工艺气体
质量流量控制计：最多至6路气体
工艺压力 ：200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 ： 大约1分钟 (取决于真空泵)
射频电源 ：风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源：220V 单相, 50Hz
工艺气体 ： 输入压力 1-2 bar
吹扫气体 ：输入压力 1-2 bar
压缩空气 ： 输入压力 4-6 bar
机体
● 独立的机体带有所有电源和气体接口
● 带有旋转垫脚的可转动机身
设备尺寸
标准尺寸 ：1067 x 737 x 1245 mm（宽/高/深，不含泵）
重量 ： 约239千克（不含泵）
可选项
● 不锈钢腔体
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 液态单体操作装置
● 真空泵（油泵、干泵或罗茨泵组）
● 汽相MFC
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