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IC STOCKER

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更新时间：2023-06-05 17:52:46浏览次数：305次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：24条

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产品简介

FOUP STK，高洁净度，电缆供电，低噪音，行走免润滑，SEMI软件接口，碰撞保护功能，MCBF50000次，Automatic teaching,设备可定制

详细介绍

用于IC行业FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。

参数：

设备		IC Stocker
运动轴		行走 / 提升/ 旋转/ 叉取
有效负载		10kg
控制		PLC+PC
电源供应		VAC 220V±10%
电机		伺服电机
行走	驱动	齿轮齿条+减速机+电机
	速度	2.2m/s
提升	驱动	电机减速机+同步带+带轮
	速度	1.75m/s
旋转	驱动	电机+同步带+减速机
	速度	120°/sec
叉取	驱动	电机减速机+同步带+带轮
	上/下料时间	4.8s
叉取FOUP精度		±0.5mm