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英福康（广州）真空仪器有限公司
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功能
涵盖整个质量范围的高分辨率：质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内明确地分离
典型应用
规格
| 类型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
|---|---|---|---|---|
| 质量范围 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
| 传感器长度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
| 杆直径 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 杆材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
| 法兰 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
| 检测器类型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
| 工作压力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
| 工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
| 灵敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
| 最小可检测分压 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
| 分辨率（可调） | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
| 分压比 | < 0.5=""> | < 0.5=""> | < 0.5=""> | |
| 工作温度传感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
| 烘烤温度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
| 工作温度电子元件 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
| 电源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | |
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
(2) QMA 410 可用于质量范围：1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
零件号
| QMA 430 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 490-913 | QMA 430 with Grid Ion Source |
| 490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |
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