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上海禾早电子科技有限公司
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智能模块化设计CCU-010是一种紧凑型全自动高真空离子溅射仪，同时可以通过更换靶头作为高真空碳镀膜机进行使用，使用非常简单
智能模块化设计
CCU-010是一种紧凑型全自动高真空离子溅射仪，同时可以通过更换靶头作为高真空碳镀膜机进行使用，使用非常简单。由于的插件概念，该设备很容易配置溅射或蒸发，只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。CCU-010有一个静态样品台，包括高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段，每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段，膜厚监测都作为标准。
多样性的真空互联
CCU-010HV高真空离子溅射仪覆盖了所有性能的扫描电子显微镜、透射电镜和薄膜应用。模块化设计让常规真空系统转换到高真空系统非常方便。
简单操作、维护方便
打开包装，连接并启动！即插即用的概念允许您自己启动设备。你只需要接通电源和处理气体。通过集成的USB服务接口，服务技术人员可以通过互联网连接在现场或远程运行快速错误分析。模块化设置允许直接更换有缺陷的部件。
操作简单、维护方便
打开包装，连接并启动！即插即用的概念允许您自己启动设备。你只需要接通电源和处理气体。通过集成的USB服务接口，服务技术人员可以通过互联网连接在现场或远程运行快速错误分析。模块化设置允许直接更换有缺陷的部件。
•自动阀门控制两种气体的排放过程。
•可选择速度控制旋转或行星齿轮台，用于固定不同类型的试样和样品台。
•视觉化设计的用户软件界面，具有多种一键功能操作。
•基于Windows软件的涂层软件LAB，可以进行数字化的涂层结构编辑。
•如果系统关闭或断电（如果使用无油泵操作），您可以保持系统处于真空状态。
•在断电情况下自动排放系统的功能，防止系统受到备用泵油的污染（如果使用油封泵操作•简单的插入式电气和气动接口，用于将涂层头连接至基本单元，允许在几秒钟内在模块之间进行交换。
•程序会自动识别并将调出所需要的菜单。
技术指标
外形尺寸： | 580×360×350mm | 真空测量： | 皮拉尼计和冷阴极压力计 |
仪器重量： | 32kg | 控制模式： | 自动触摸屏Windows软件系统 |
电源要求 | 100-240VAC | 靶材尺寸： | φ54mm |
仓室尺寸： | φ120 | 溅射电流： | 10-100mA |
真空泵： | 集成式涡轮分子泵 | 溅射时间： | ≤900s |
极限真空： | 2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa | 供气选项： | 氩气、氮气、空气等可选 |
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