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LUXOR Pt 磁控离子溅射仪

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更新时间:2023-04-10 11:33:25浏览次数:207次

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产品简介

LUXOR-Pt 喷金仪是一款触摸屏控制的全自动的磁控离子溅射装置,专用于电镜某些非导电样品的喷金处理,以提高电镜观察的成像效果!采用的样品倒挂设计,装取样品简易,无高压线缆外置,样品避免碎粒碎屑沉积,镀膜均匀一致,触摸屏控制,操作简单,不需要手动调节电压电流,只需设置镀膜厚度,真空度,无需操作经验,几分钟即可学会使用。 主要技术指标和特点如下:------ 三种

详细介绍

LUXOR-Pt 喷金仪是一款触摸屏控制的全自动的磁控离子溅射装置,专用于电镜某些非导电样品的喷金处理,以提高电镜观察的成像效果!

采用的样品倒挂设计,装取样品简易,无高压线缆外置,样品避免碎粒碎屑沉积,镀膜均匀一致,触摸屏控制,操作简单,不需要手动调节电压电流,只需设置镀膜厚度,真空度,无需操作经验,几分钟即可学会使用。

 

主要技术指标和特点如下:

------ 三种模式: 金属溅射,样品干燥,真空脱气

------ 厚度可选范围:1nm  --- 100nm 

      (连续可调,金镀膜厚度:典型10nm,铂镀膜层厚:典型2nm)

------  气源要求: 氩气 0.6bar

------  真空度可设定:7Pa--150Pa

------ 工作时间设定: 1---- 600min (连续可选)

------ 平均喷膜时间:6min

------ 可实现多达6个样品的同时喷膜,样品仓高度可调!

------ 专门设计的样品站,可直接实现Thermo Phenom电镜样品夹的喷涂

------ 双重安全护罩保护,硼硅玻璃样品仓外无高压部件

------  方便的样品固定和靶材更换

------ 占地小35cm*35cm,重量 13.5 Kg,长宽高:340mm*340mm*290mm

------ 电源:110-240V&50Hz, 不含泵功耗120W,含泵功耗500W

------ 真空泵连接:DN 16KF

------ 工作气体连接:快插4*1mm

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