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深圳市万德泉科技有限公司
QMG 700 分析质谱仪QMG 700 分析质谱仪超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率 半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限,推动工艺创新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。 根据具体的应用要求,选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程,达到ppb 检测量级,这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率,对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用,如同位素分析,氦和氘分离等,QMG 700是的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量,有效控制您的工艺。 INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和的技术,确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长,您可获得始终如一的高精度......
超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率
半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限,推动工艺创新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。
根据具体的应用要求,选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程,达到ppb 检测量级,这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率,对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用,如同位素分析,氦和氘分离等,QMG 700是的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量,有效控制您的工艺。
INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和的技术,确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长,您可获得始终如一的高精度测量数据。
涵盖整个质量范围的高分辨率:质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离
QMA 400 | |
---|---|
零件号 | 明细 |
490-709 | |
490-710 | QMA 400 with axial Ionenq. |
490-711 | QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB |
490-712 | QMA 400 mit CB-IQ, MAG |
490-713 | QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT |
490-721 | QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd. |
490-722 | QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol. |
490-755 | |
490-756 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 |
490-756-2 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly |
490-770 | QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial |
490-772 | QMA 400 with Axial Ionenq, W |
BKM07627 | |
PTM07736 | QMA 400 mit Crossb.-Ionenq. |
QMA 410 | |
零件号 | 明细 |
490-811 | QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet |
490-813 | QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet |
490-816 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB |
QMA 430 | |
零件号 | 明细 |
490-911 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB |
490-912 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT |
490-921 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA) |
类型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
---|---|---|---|---|
质量范围 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
传感器长度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
杆直径 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
杆材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
法兰 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
检测器类型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
工作压力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
灵敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
最小可检测分压 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
分辨率(可调) | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
分压比 | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | |
工作温度 传感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
烘烤温度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
工作温度 电子单元 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
电源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 的可检测质量范围为:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
(2) QMA 410 的可检测质量范围: 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
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