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扫描开尔文探针系统

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大面积扫描开尔文探针系统能够在垂直方向移动开尔文探针实现电动控制开尔文探针与样品的距离

详细介绍

大面积扫描开尔文探针系统能够在垂直方向移动开尔文探针实现电动控制开尔文探针与样品的距离。样品安装到真空吸盘上，真空吸盘可带着样品移动150x150mm位移，从而实现开尔文扫描探针系统大面积扫描样品表面。

大面积扫描开尔文探针系统特色:

电动控制开尔文探针与样品的距离
电动控制样品XY移动范围150 mm x 150 mm
具有编码器的主动定位定位追踪系统
Z方向步进大小: 625 nm
X - and Y-方向: 5 µm / microstep
功函分辨率:: < 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals
最小的探针直径: 0.1 mm
集成法拉第防护功能
框架表面镀金
开尔文探针头采用纯金工艺
外形尺寸: 50 cm (W) x 60 cm (D) x 25 cm (H)
样品尺寸: 150 mm x 150 mm
真空样品吸盘
包含参考样品标准: HOPG, Au on Si, Al/Au-edge, Potential Check
可选配温度和湿度传感器

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