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苏州中科科美科技有限公司
钟罩顶部装有针型阀,可用来控制钟罩内的真空度,以便进行离子轰击。
应用领域
设备为高真空多用途镀膜机,四对电极可单独或同时蒸发不同的材料。
产品描述
钟罩顶部装有针型阀,可用来控制钟罩内的真空度,以便进行离子轰击。
技术参数
1.镀膜室尺寸:Φ450×540mm钟罩
2.镀膜有效尺寸:Φ320mm
3.离子轰击功率:0.6kW
4.恢复真空抽气时间(min):<30
5.蒸发源数目:4对
6.蒸发源功率:1.5kW (可选电流、电压控制)
7.蒸发源电压V:6,12,24
8.蒸发源电流A:60,120,240
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