当前位置：上海隽思实验仪器有限公司>>>>OAP烘箱，OAP处理烘箱

OAP烘箱，OAP处理烘箱

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地上海

在线询价收藏产品

更新时间：2023-02-22 15:20:19浏览次数：181次

联系我时，请告知来自智慧城市网

产品分类 品牌分类

暂无信息

上海隽思实验仪器有限公司

经营模式：其他

商铺产品：225条

所在地区：上海上海

询价 给他留言

产品简介

OAP烘箱，OAP处理烘箱的工艺光刻的作用是把掩模版上的各形转换成晶圆十的器件结构，它对集成电路图形结构的形成，如各层薄膜的各形及掺杂区域等，均起着决定性的作用

详细介绍

OAP烘箱，OAP处理烘箱的工艺

光刻的作用是把掩模版上的各形转换成晶圆十的器件结构，它对集成电路图形结构的形成，如各层薄膜的各形及掺杂区域等，均起着决定性的作用。光刻的基本流程中步，前处理就是需要将基片亲水性改为疏水性，即OAP(HMDS预处理)工艺。

OAP烘箱，OAP处理烘箱简介

OAP处理烘箱，也称为HMDS烘箱、HMDS预处理系统。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜进行表面处理，它起到提高粘附力的作用，在硅片成底膜操作后尽快涂胶。OAP烘箱是采用气相成底膜的方式来完成HMDS的涂覆工艺，优点是，整个工艺在密闭的环境中，外界没有与硅片接触减少了来自液体HMDS颗粒沾污的可能，HMDS的消耗量也小。

OAP烘箱指标

HMDS药液泄漏报警提示功能

HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

HMDS管道预热功能

程序锁定保护等功能

内腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）

材质：外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用级不锈钢

温度范围：RT+50-200℃

温度波动度：≤±0.5

真空度：≤1torr

HMDS控制：可控制HMDS 药液添加量