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上海隽思实验仪器有限公司
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一．无尘无氧烤箱
一．无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱概述
应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.
二．无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱技术参数
1.主要技术指标
Ø 材质：外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢
Ø 温度范围：RT+10-200、400℃
Ø 温度分辨率：0.1℃
Ø 温度波动度：＜±1℃
Ø 温度均匀度：≤±2%
Ø 洁净度：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
Ø 升温时间：5-8℃/min，（空箱测试）
Ø 降温时间：可满足130℃-50℃，降温5℃/min（空箱测试）
Ø 氧含量
高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量
Ø 数据输出：温度和氧含量无纸记录仪
2.系统结构
Ø 热风循环系统：采用覆套式电热器）无尘无氧化电热发生器
Ø 气体系统：HEPA过滤效果可达99.99%,Class100箱体内装有氧含量分析仪
Ø 水冷系统：翅片式水冷散热器，冷却水通过散热器快速带走更多的热量，使得箱内温度快速下降
Ø 温控系统：采用日本RKC-PF900温度控制器，内置斜率设定、PID自整定
Ø 软件系统：控制系统采用日本三菱公司FX3G系列高速型逻辑控制器，可与现场总线联机远程操控
3. 安全保护性能
Ø 报警功能：1）三色报警灯 2）超温报警 3）热电偶故障报警 4）低水压报警
Ø 安保功能：1）短路保护
2）漏电保护
3）超温保护，独立感温式超温保护器
4）电机保护，电机过电流、水冷保护
5）电磁门禁保护，当温度超过100℃，电子锁自动锁紧，防止高温开门
三、无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱安装条件
Ø 环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；
Ø 周围无强烈震动；
Ø 无阳光直接照射或其它热源直接辐射，
Ø 周围无强烈电磁场影响；
Ø 周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；
Ø 百级洁净车间；
Ø 周围无强烈气流，当周围空气需要强制流动时，气流不应在直接吹到箱体上；
Ø 设备应放在坚固平稳的平面上，并使其保持水平状态；
Ø 安装设备使用空开电源 ；
四．无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱常用规格
容积 | 型号 | 控温范围 | 电源电压 | 内胆尺寸（mm） |
120L | JS-DFF120 | RT-450℃ | 380V/50Hz | W500*D500*H500 |
170L | JS-DFF170I | RT-450℃ | 380V/50Hz | W700*D500*H500 |
210L | JS-DFF210 | RT-450℃ | 380V/50Hz | W600*D600*H600 |
280L | JS-DFF280 | RT-450℃ | 380V/50Hz | W800*D600*H600 |
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