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坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱

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更新时间：2022-05-08 12:01:19浏览次数：153次

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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱概述无尘烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺

详细介绍

坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱概述
无尘烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱特点
1、烤箱用于半导体车间100级生产线；
2、设备能够实现对CASETTE内硅片烘烤工艺；
3、全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
4、开机后墙体内一直处于恒温状态；
5、强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度；
6、操做人员放入产品后关门，点击开始按钮即可一键完成菜单工艺，完成后伴有声光提示。
坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱技术参数
1、无尘等级：Class 100;
2、温度均匀度：±2℃;
3、温度波动度：±0.5℃（空载）；
4、温控精度：±0.1℃;
5、温度范围：RT+10-200/300℃;
6、升温速率：≥8℃/min（可修改）；
7、内腔材质：SUS304＃镜面不锈钢；
8、外箱材质：优质冷轧板喷塑或SUS304＃不锈钢；
9、密封条：耐高温氟橡胶密封条；
10、氮气装置：可调式浮子流量计；
11、安全装置：漏电保护，超温保护，三色提示灯等。