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北京真空电子科技有限公司
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设备用途及特点超高真空五维驱动组件实现了电子枪结构的动态调整用于在高哀空环境下对电子枪动态和静态工作状态进行测试研究功能强大的数据采集及分析软件
超高真空五维驱动组件实现了电子枪结构的动态调整
用于在高哀空环境下对电子枪动态和静态工作状态进行测试研究
功能强大的数据采集及分析软件，自动循迹，绘制电子注三维分布图
脉冲上升沿：100ns
极限真空度：≤5×10-7 Pa
法拉第筒外径尺寸：1～2mm
微电流釆样系统脉宽：1μs～100μs
法拉第筒小孔直径：20μm、100μm
五维调整机构：X/Y/Z行程1mm，精度10μm，
旋转：±180°，俯仰：±15°
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