带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪A-322 系列
在PI生产的XY位移平台的应用领域中，稳定性、精度和动态性至关重要， 其是高生产率和可靠操作的基础。
PI在PIMag®磁性线性电机和PIglide空气轴承领域利用了自身的研发成果。工业生产和质量控制都可得益于PI的高负载XY位移平台和平面扫描仪。
A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪
分辨率为1纳米的XY定位系统
扫描应用的完美选择或精密定位
行程达500毫米 × 1000毫米
分辨率达1纳米
无尘室兼容
负载容量达245牛
速度高达2毫米/秒
PIglide参考级XY定位系统
PIglide HS平面扫描仪带磁性线性电机、真空预载和编码器：非接触式无摩擦运动可实现精度和可靠性。
编码器
编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。
PIMag®磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与性磁铁发生不良作用。这样即使在低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
定位系统设计用于将产出大化的同时确保精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦，不会牺牲系统的刚性。
利用来自制造商的数字控制器，操作可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。
附件和可选配件
PIglide过滤器和空气预处理器
额外的轴
机器底座
花岗岩底座板和隔振系统
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
订购信息：
A-322.AB1 PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，350 mm×350 mm行程，编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V
A-322.BB1 PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，350 mm×500 mm行程，编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V
A-322.CB1 PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，500 mm×500 mm行程，编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V
A-322.DB1 PIglide HS平面扫描仪，空气轴承，500 mm×1000 mm行程，编码器，1 nm传感器分辨率，3相直线电机，48 V
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带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪A-322 系列
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