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大气机械手Blade-S175-Ex

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更新时间：2023-06-05 18:47:38浏览次数：193次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：23条

所在地区：辽宁沈阳市

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产品简介

高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护，Mapping功能，SEMI认证，提供接口及末端定制

详细介绍

大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用*的结构加强了手臂的刚性，并有效抑制振动，轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本，提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选，以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制，使得机器人可以采用任意姿势来取放晶圆，更节省空间，适应性更强。是半导体行业的优势之选。

参数：

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload	名称name	晶圆wafer
	直径diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度数DOF		3
回转直径Maximum Swing diameter		505mm
运动范围 Moving Range	升降轴 (Z轴) Up/Down(Z)-Axis	960mm
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	340°
	伸展轴 (R轴) Extension(R)-Axis	645mm
速度 Maximum Moving Speed	升降轴 (Z轴) Up/Down( Z)-Axis	400mm/s
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	180°/s
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	＜0.8s（Home to Fullextension）
重复定位精度 Repeatability	升降轴 (Z轴) Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
洁净度Clean Class		ISO CLASS 4
主机重量Body Weight		90 kg
电源Power Supply		VAC 220V±10%
行程		618mm