【中国安防展览网 企业关注】近日，中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“中微”)宣布，中国福建省人民法院同意了中微针对维易科精密仪器贸易(上海)有限公司(以下简称“Veeco上海”)的禁令申请，该禁令禁止Veeco上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵犯中微第CN 202492576号的任何化学气相沉积装置和用于该等装置的基片托盘。该禁令涵盖TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4机型的MOCVD设备，以及在该等MOCVD设备中使用的基片托盘。中微认为Veeco EPIK 868机型MOCVD设备的旋转轴和基片托盘锁定同步装置也使用了中微涉案技术，因此该裁定也涵盖了Veeco的EPIK 868机型及在该设备中使用的基片托盘。
该禁令立即生效执行，不可上诉。这一严格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知识产权， Veeco上海不尊重中微的知识产权。
今年7月，中微向福建高院正式起诉 “Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。
在中微起诉后，Veeco上海对该涉案的中微向复审委提起无效宣告请求；与此同时，还有一位自然人也对该涉案提起无效宣告请求。针对涉案的两个无效宣告请求，复审委先后分别开庭审理，双方代理人进行充分答辩，复审委于今日对两个无效宣告案分别作出了审查决定，均确定认中微为有效。
中微为这项关键技术投入了大量的研发费用和知识产权保护。中微开发了这项技术、布局了一系列相关申请保护其创新性并在MOCVD设备上应用了这项技术，中微MOCVD设备已在国内众多LED生产线上投入量产。Veeco美国公司之后跟随中微的步伐在其MOCVD设备中采用相同的锁定同步技术以提高设备性能。Veeco美国公司针对中微该已获授权的锁定同步技术也提交了相近的申请，并使用于其产品上，由此侵犯了中微的权。
不过值得注意的是，Veeco 也没有坐以待毙，就在11月2日，Veeco 美国宣布，美国纽约东区地方法院同意了Veeco公司针对SGL Carbon，LLC(SGL)的一项初步禁令请求，该公司是中微半导体设备有限公司(AMEC)的晶圆承载器供应商。据统计，目前国内前三大 LED 芯片厂商今年采购的机台里，Veeco 和中微半导体各占一半。业内人士评论称，此次禁令可能会让中微损失不少。
美国当地时间2017年12月8日，中微向美国商标局(USPTO)审判和上诉委员会(PTAB)递交无效Veeco美国(US 6，726，769)的请求。该项关于可分离基片托盘技术的申请于2001年，此前被Veeco 美国公司用于在美国起诉中微的基片托盘供应商侵权。中微深信，Veeco美国的涉案的技术早在60年代起就被大量前置明确地公开，因此该不符合法要求，应属无效。中微除了在美国对该涉案提起无效请求，还对其中国同族和韩国同族均提交了无效请求。
针对Veeco美国起诉中微供应商的的另一个涉案美国(US 6，506，252)，中微正在准备无效宣告材料，将很快向美国审判和上诉委员会提起无效请求。
福建高院判决VeecoEPIK700机型在国内禁售，这是国产半导体设备的胜利。正如我们之前评论，中微等国产半导体设备企业崛起的趋势不可避免，Veeco等海外企业仅靠战无法击败中微。中微以彼之道还施彼身，显示国内半导体设备的创新与技术能力已经不可同日而语。不过需要注意的是，中微一系列动作的诉求也是在与Veeco的谈判中多掌握筹码，对于你来我往的战，后的结果还是和解。目前来看，和解的时间点正在接近。
在上游设备商纠纷愈演愈烈的情况下，LED芯片行业产能面临考验。对于LED芯片行业而言，中微与Veeco的纠纷使得各家厂商在新购机台的决策上陷入进退两难的境地，扩产计划可能陷入停顿，如果短期无法和解，行业2018年的大部分扩产计划无法如期进行；同时目前的判决对中微和Veeco各自相关机型存量产能皆有影响，行业产能大概率陷入供给不足的状态！
就LED芯片相关公司而言，澳洋顺昌受到纠纷事件影响小。对于澳洋顺昌，公司目前存量机型以Axitron为主，占比为行业高，在产有效产能大，对机台的操控水平也高。对于新增产能，在纠纷解决无明确时间表的情况下，公司可选择Axitron与中晟(两者技术路线与Veeco均有较大不同)，腾挪余地更大；而其他厂商因为前几年已经转向Veeco，Axitron与中晟机台对其均具有一定操作门槛，即使是唯二选择也都不是好的选择。总而言之，澳洋有效产能及扩产计划受影响小。
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