FST-PQ01 高精度电动二维材料转移系统 

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一、产品主标题

二、产品简介

三、整机系统结构说明

1. 电动多轴纳米位移转移单元

   XYZ 三轴电动闭环位移台，搭配 X/Y 俯仰、Z 轴旋转电动微调，上位机软件精准定位，重复定位纳米级，支持点位存储、自动扫描、多点堆叠程序。

2. PID 恒温真空温控载物台

   陶瓷真空吸附台面，宽温区连续控温，支持阶梯升温退火工艺，内置风冷快速降温，防止超薄薄膜高温氧化、形变；负压分段可调，适配 PDMS、PC、硅片、石英等多种衬底。

3. 三目金相显微成像观测单元

   三目镜筒搭配高清工业相机与显示监视器，同轴环形冷光源，高倍率清晰分辨单层二维材料边界，实时可视化监控薄膜剥离、对准、贴合全过程。

4. 消音真空吸附气控单元

   无油消音隔膜真空泵，分段负压调节，可切换干法剥离、湿法捞膜两种主流工艺，避免超薄薄膜撕裂、滑移。

5. 全自动运动控制主机与上位机软件

   独立电控机箱，配套 Windows 可视化程控软件，可自定义运动轨迹、温度曲线、堆叠流程，支持无人值守自动批量样品制备。

6. 阻尼隔振光学底座

   一体化铸铁阻尼隔振平台，隔绝地面震动干扰，保障纳米级对准精度长期稳定。

四、核心技术参数总表

五、产品核心优势

1. 全电动闭环自动控制，样品制备高度可复现

2. 可视化全自动堆叠，支持批量无人值守实验

3. 纳米级超高定位精度，超薄二维薄膜无损伤对准

4. 一体化温控退火模块，兼容全品类二维材料工艺

5. 模块化拓展设计，一机集成全套表征系统

6. 标配阻尼隔振底座，杜绝震动导致对位漂移

7. 干湿法双工艺兼容，覆盖全部二维材料制备需求

六、典型应用领域

1. 二维范德华异质结制备

   石墨烯 /hBN 垂直堆叠、多层 TMDs 异质结构、钙钛矿二维复合薄膜、磁性二维材料堆叠；

2. 光电器件研发制备

   二维材料场效应晶体管、光电探测器、柔性忆阻器、微纳发光器件样品制备；

3. 半导体微纳表征实验

   大面积薄膜 PL / 拉曼 Mapping 扫描、器件原位电学测试、载流子输运特性研究；

4. 高校教学科研平台

   材料、物理、微电子专业教学演示、本科生课题、研究生论文标准化样品制备；

5. 企业研发中心小批量器件试制

   柔性电子、光传感、新型半导体器件小批量样品自动化制备。

七、标准出厂配置清单

1. FST-PQ01 电动二维材料转移主机（含阻尼隔振光学底座）

2. 电动 XYZ 三轴位移转移头 + 电动角度微调模组

3. 200℃ PID 真空吸附温控陶瓷载物台

4. 三目金相显微镜 + 高清工业成像相机 + 21.5 寸监视器

5. 无油消音真空泵 + 全套真空管路、负压调节阀

6. 独立伺服电控驱动机箱、配套上位机控制软件

7. PDMS 衬底、玻璃载片、标准样品夹具全套耗材

8. 整机电源线、信号传输线、操作手册、配套工具包

八、可选拓展选配模块

1. 原位电学探针测试模组：实现堆叠后 IV、光电响应原位测试

2. 高真空密闭腔体模组：隔绝水汽氧化，适配黑磷、钙钛矿等易氧化材料

3. 大面积 LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源

4. 更高行程电动位移台、低温制冷温控台、自动点胶模组

5. 气浮隔振平台升级方案、手套箱内部适配改造套件

九、质保与配套技术服务

1. 质保政策：整机标准质保 1 年，电动位移滑轨、光栅传感器、温控加热核心部件 2 年质保；

2. 技术支持：免费提供设备操作手册、上位机控制软件、二维材料全套转移工艺方案；

3. 定制服务：支持位移行程、温控区间、真空腔体、通讯接口非标定制；

4. 交付周期：标准机型 7 个工作日出货，带多套选配模块定制机型 15~20 个工作日交付；

5. 增值服务：工程师上门装机、光路与精度校准、操作人员完整实操培训、长期远程工艺技术指导。