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EVG770 分步重复纳米压印光刻机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称岱美仪器技术服务(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2026/7/8 10:05:49
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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。
1.简介 我们的EVG770分步重复纳米压印光刻机是用于步进式纳米压印光刻的通用平台,可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化
EVG770 分步重复纳米压印光刻机 产品信息

1. 简介

我们的EVG770分步重复纳米压印光刻机是用于步进式纳米压印光刻的通用平台,可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面积均匀地复制模板。结合金刚石车削或直接写入方法,分步重复刻印通常用于有效地制造晶圆级光学器件制造或EVGSmartNIL工艺所需的母版。

2. 主要应用

主要使用连续重复的纳米压印光刻技术,可进行有效的母版制作(例如:微镜头制作)。

3. 特色

EVG770的主要功能包括精确的对准功能,全缅的过程控制以及可满足各种设备和应用需求的灵活性。

4. 参数特征

1)高效的晶圆级光学微透镜主制造,直至SmartNIL的纳米结构®

2)简单实施不同类型的主机

3)可变抗蚀剂分配模式

4)分配,压印和脱模过程中的实时图像

5)用于压印和脱模的原位力控制

6)可选的光学楔形误差补偿

7)可选的自动盒带间处理

5. EVG770技术数据

1)晶圆直径(基板尺寸):100300毫米

2)解析度:≤50 nm(分辨率取决于模板和工艺)

3)支持的工艺:软UV-NIL纳米压印

4)曝光源:大功率LEDi线)> 100 mW /cm²

5)对准:顶面显微镜,用于实时重叠校准≤±500 nm和精细校准≤±300 nm

6)弟一个印刷模具到模具的放置精度:≤1微米

7)有效印记区域:长达50 x 50毫米

8)自动分离:支持

9)预处理功能:涂层:液滴分配(可选)

6. 纳米压印工艺结果

晶圆级微透镜制造


图1 微镜头

纳米压印结果(100纳米分辨率)

图2 纳米压印结果(100纳米分辨率)

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