1. 产品简介
PhaseCam 6110高分辨率类型激光干涉仪是PhaseCam6000系列激光干涉仪的另一种型号,有助于提高大孔径光学元件表面测量的分辨率,适用于数字处理和高分辨率系统调整。
PhaseCam 6110干涉仪采用分离光源和干涉仪的设计,主体尺寸小。它还配备了特殊的调节架,易于安装和定位,并且便于进行五维调节,是测量焦距准直仪,低温光学真空实验等的理想仪器。PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010,并且具有更好的可维护性。
2. 基本属性
系统描述:对振动不敏感的Tiemann Green型动态相移激光干涉仪
采集方式:瞬时相移型带相位相关检测器
核芯技术:相移干扰技术(PSI)
光源:稳定频率HeNe@632.8nm;可选波长1550nm
相干长度:> 100m
光束直径:7mm
极化:圆极化
相机像素:2000×2000像素,12位
尺寸:测量头:<38.9 x 15.7 x 9.1厘米
激光:48.3 x 20.3 x 11.9厘米
采集速率:> 10帧/秒(实时显示)
> 15帧/秒(后处理)
zui小曝光时间:35微秒
样品反射率:1-100%(无衰减)
RMS重复性:<0.001wave *
RMS精度:<0.002wave **
* 10个数据的RMS值的1σ方差用作结果;每个数据是16次测试的平均值
**使用10个数据,每个数据是16次测试的平均值;这10个数据的平均值用作参考值;每个数据与参考值之间的差用于计算RMS平均值作为结果
4. 配置选项
扩束镜:Φ50mm,Φ100mm,Φ300mm
球面扩束镜:F / 1至F / 32;可以定制


















