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LITHOSCALE 无掩模光刻机曝光系统

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公司名称岱美仪器技术服务（上海）有限公司
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所在地上海
厂商性质其他
更新时间2026/7/7 12:29:08
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公司介绍主营产品

??岱美有限公司成立于1989年，是数据存储，半导体，光学，光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期，岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲，以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中，我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链，我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港，在中国大陆地区（北京和上海，以及广东东莞）拥有*的业务。我们还在马来西亚，新加坡，中国台湾地区，菲律宾和泰国等东南亚国家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师，能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务；为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求，岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练，务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年，我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系，满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户，我们不仅提供设备，还提供建议和技术指导，以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商，我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲，美国，日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品：??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要，请联系我们，了解我们如何开始与您之间的合作，实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注：在大陆地区注册的公司名称为：岱美仪器技术服务（上海）有限公司，并有东莞分公司和北京办事处。

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1.简介 LITHOSCALE无掩模光刻机系统是一个革命性的，高度灵活的无掩模光刻曝光平台面向容纳晶片可达300毫米的各种微细加工应用

LITHOSCALE 无掩模光刻机曝光系统产品信息

1. 简介

LITHOSCALE 无掩模光刻机系统是一个革命性的，高度灵活的无掩模光刻曝光平台面向容纳晶片可达300毫米的各种微细加工应用。

LITHOSCALE无掩模光刻曝光系统采用了EV Group的MLE™无掩模曝光技术通过结合的数字处理功能来解决传统瓶颈，该功能可实现实时数据传输和即时曝光，高结构分辨率和吞吐量可伸缩性。它的无掩模曝光方法消除了与掩模相关的消耗品，而曝光系统及其可调谐固态激光源则具有高冗余度和较长的使用寿命稳定性，并具有独特的自动校准功能，可蕞大程度地减少维护工作。的实时数字处理功能可将设计文件立即暴露于基材，从而避免了每种数字掩模版图的转换时间。LITHOSCALE具有高分辨率（<2µm L / S），动态裸片级可寻址整个基板表面的曝光，可实现灵活的无耗材处理和低成本（CoO）。LITHOSCALE系统利用具有可见和红外功能的专用物镜以及专有的卡盘设计集成了完整晶圆的顶部和背面对准，可容纳蕞大300 mm的晶圆。该系统具有自动对准的动态对准模式，以适应基板材料和表面变化。精细控制焦点水平位置的能力可保持侧壁陡峭以及抗蚀剂的所需3D轮廓，同时防止边缘打底和打底。大的工作距离和自动自适应对焦功能可确保整个曝光表面的图案均匀性。它还具有个性化的裸片处理能力，而快速的全场定位和动态对准则可为各种尺寸和形状的基板提供高度可扩展性。