超高真空分子泵组DVM系列
分子泵组由中高真空获得设备前级泵和超高真空涡轮分子泵组合而成。
真空获得设备前级泵要求是真空度小于1mbar以下的真空泵，真空度越好，对泵组的最终获得真空度越好。
分子泵前级泵分为两个系列，分别是干式螺旋真空泵和高稳定性两级旋片真空泵。
涡轮分子泵能产生5×10-10mbar以上的超高真空度。
分子泵组的主要特点如下：
· 前级泵与分子泵合为一体。
· 前泵采用干式螺旋真空泵或高稳定性两级旋片真空泵。
· 分子泵采用空冷方式。
· 结构特别紧凑, 操作特别简单，数字液晶显示器能实时参数设置。
DVM分子泵组系列 型号 | 前级泵型号 | 前级泵参数 | 分子泵型号 | 分子泵参数 |
噪音dB | |||
极限真空 mbar | 抽吸速度 L/min | 极限真空 mbar | 抽吸速度 L/s | 进气连接 | ||||
DVMT0150-80 | 抗化学腐蚀 DVT0150 | 0.1 (10Pa) | 48 | DVM80 脂润滑分子泵 | 5×10-9 | Ar: 62 N2: 63 | DN63CF (KF) | 55 |
DVMT01100-150 | 抗化学腐蚀 DVT01100 | 0.1 (10Pa) | 96 | DVM150 脂润滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 140 N2: 145 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMT01200-300 | 抗化学腐蚀 DVT01200 | 0.1 (10Pa) | 192 | DVM300 脂润滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 255 N2: 260 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMW0150-80 | 非抗化学腐蚀 DVW0150 | 0.1 (10Pa) | 48 | DVM80 脂润滑分子泵 | 5×10-9 | Ar: 62 N2: 63 | DN63CF (KF) | 55 |
DVMW01100-150 | 非抗化学腐蚀 DVW01100 | 0.1 (10Pa) | 96 | DVM150 脂润滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 140 N2: 145 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMW01300-300 | 非抗化学腐蚀DVW01300 | 0.1 (10Pa) | 288 | DVM300 脂润滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 255 N2: 260 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMT0150-H80 | 抗化学腐蚀 DVT0150 | 0.1 (10Pa) | 48 | 选用进口德国分子泵HiPace系列 | 5×10-10 | Ar: 66 N2: 67 | DN63CF (KF) | 54 |
DVMT01100-H300 | 抗化学腐蚀 DVT01100 | 0.1 (10Pa) | 96 | 5×10-10 | Ar: 255 N2: 260 | DN100CF (KF) | 54 | |
另外，可选择以下推车结构形式的分子泵组。
