Energetiq光源是一款高亮度,高稳定、长寿命宽谱光源,采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术,这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度、光谱平坦,寿命比传统光源高一个数量级。
无电极Z-PinchTM EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列
Energetiq独特的技术基于Z-Pinch等离子体,但是不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁,能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
主要特点
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输出波长13.5nm,2nm-4nmTM
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输出功率10W@13.5±1%(可选20W型号)
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重复频率2kHz(可选10kHz型号)
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无电极Z-Pinch技术
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符合CE标志和SEMI S2-0703
主要应用
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EUV度量学
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耐EUV开发
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缺陷检测
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EUV显微学
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水窗显微镜(XSR版本)
选型指南
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| 型号 | EQ-10 | EQ-10HR | EQ-10HP | EQ-10SXR |
| 输出功率 (用氙气在2π球面) | 10W,13.5nm,±1%宽带 | - | 20W,13.5nm,±1%宽带 | 400mW,2.8nm,产生2-4nm软X射线 |
| 脉冲重复率 | 1200 to 2000 Hz | 10kHz | 1200 to 2500 Hz | 2kHz |
| 尺寸 | 小等离子体尺寸 | |||
| 残留情况 | 低残留 | |||
| 工作压强 | 一般70到100 mTorr | 一般150 mTorr | 一般70到150 mTorr | - |
| 氙气流速 | 一般5到15 sccm | 一般100 sccm | 一般5到15 sccm | - |
| 低成本 | 氙气流速低,将消耗成本降低,占地面小 | |||
| 可靠性强 | 无电极Z-Pinch技术,符合CE标志和SEMI S2-0703 | |||
| 应用 | EUV度量学 耐EUV开发 缺陷检测 EUV显微学 | EUV光学元件测量 EUV计量学 耐EUV开发 缺陷检测 EUV显微学 | EUV掩膜检测 EUV度量学 耐EUV开发 EUV显微学 | 水窗显微镜 细胞微光束探测 |




















