JKZC-ST-XY二维纳米定位/扫描平台
JKZC-ST-XY二维纳米定位/扫描平台基于做纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
1、典型应用
光学对准
纳米压印
罡微成像/操纵
表面检测
高密度存储
则量技术
表面检测
半导体加工
2、技术特点：
亚纳米级分辨率
超高定位精度
无摩擦柔性较链导向
超高真空兼容性
高速、高动态
多运动模式:定位/扫描
3、20尺寸图
4、规格参数
JKZC-ST-XY-100 | JKZC-ST-XY-200 | 单位 | |
运动触数 | 2 | ||
驱动类型 | 压电陶瓷 | ||
闭环行程 | 100x100 | 200x200 | μm |
分辨率 | 0.35 | 0.5 | nm |
最小步长 | 1 | 2 | nm |
无负载谐振频率 | 450 | 350 | Hz |
大负载 | 1/5/10/定制 | Kg | |
传感器类型 | 电容传感器 | ||
尺寸(LxWxH) | 100x100x21 | 150x150x30 | mm |
白重 | 850 | 1400 | g |
电气接口 | D-sub9/可定制 | ||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | |
屏蔽线缆长度 | 2 | m | |
材料 | 铝合金 | ||
真空(可选) | 超真空兼容(5x10”) | mbar | |
真空版型号:NP-OL-Z-HV
5、适配控制器
