| 离子泵的发展史 | |
| 从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自 瓦里安公司，即现在的安捷伦科技。从二极型离子泵，到三极型离子泵，再到Starcell 系列产品乃至闻名的VacIon Plus 产品家族等。 |  |
| VacIon Plus | |
• VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的的离子泵产品家族，包括全系列离子泵、 控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外， 安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案，以满足 用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。 • VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以 及Starcell 三极型泵在内的全系列产品，以超高真空获得技术为众多应用 领域服务。除MiniVac 和Dual 两款离子泵电源外，新4UHV 离子泵控制器则 为不同应用提供了更为丰富的选择。 | |
| 钛升华复合型离子泵 |
| • 钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一： 钛升华过程针对活性气体提供了的抽速，而同时Starcell 离子泵则有效清除如 氩气等惰性气体和甲烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以 及低温筒集成在泵体当中。安捷伦科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。 |
