产品介绍:
蓝宝石及碳化硅晶片平坦度及表面形态测试仪为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。它能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
产品特点：
■ 无接触和无损伤测量
■ 适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■ 适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面
■ 测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■ 完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■ 超过15年的工业应用，几百台的装机量
技术参数：
■ 精确度：50nm （2.0μ″）
■ 重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可测量工件尺寸：25mm-200mm
■ 动态测量范围：>100um
■ 测量数据点：230,000 / measurement
■ 测量时间：5秒
■ 电源：～220V 50Hz
典型客户:
国外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
国内：赛维，重庆四联，中电46所，山东大学，大连理工大学，半导体所，物理所，中科晶电，中科镓英，云南蓝晶，青岛嘉星晶电，天科合达，大庆佳昌……
北京合能阳光新能源技术有限公司是一家硅材料检验仪器及服务提供商，提供全面的硅料、单晶硅片、多晶硅片等成套检验设备及*解决方案。同时，拉单晶生产所需的辅料也是我公司主营范围之
少子寿仪，红外探伤仪，氧碳含量仪，椭楄仪，型号测试仪，电阻率测试仪，蓝宝石等检测设备
蓝宝石及碳化硅晶片平坦度及表面形态测试仪：FM-200 产品信息
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