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薄膜应力及基底翘曲测试设备

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具体成交价以合同协议为准

公司名称铂悦仪器（上海）有限公司广州办事处
品牌
型号FSM 128
所在地上海市
厂商性质代理商
更新时间2026/4/11 13:00:36
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公司介绍主营产品

铂悦仪器自2004年成立以来，凭借与世界各大仪器的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理，提高服务质量，成为中国国内的仪器供应商。铂悦仪器所提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析仪器、检测仪器和生产设备，以及配套的耗材和配件，这些产品广泛应用于半导体、工业、太阳能、医药、医疗器械、生物、能源、电子、石化等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。

铂悦仪器不仅拥有高品质的产品，更培养了专业的销售、技术和售后服务团队，本着客户*的原则，从客户的实际需求出发，铂悦仪器为每一位客户量身订制Z适合的综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务，由此也获得了广大客户的信任与认可。

铂悦仪器的总公司设立在上海，并在北京、广州、成都、香港、加拿大设立了办事处，在能及时引进*进技术的同时，保证了铂悦仪器能快速、有效的为全国各地的客户提供良好的服务。

企业文化： CREDIT

C- Confidence: 自信

R- Responsibility: 责任心

E- Efficiency: 效率

D-Diligence: 勤奋

I- Intelligence: 机智

T- Trust: 信任

展开显示更多内容

AFM探针及配件，X射线荧光测厚仪，防潮箱，压片机，熔样机，标样，层析板，SPIP三维图像处理软件，电镜制样设备及耗材，Vision显微镜，研磨抛光机，气体分析仪

产品简介在线询价

产品描述：FSM128系列设备，装备有光学扫描系统。

薄膜应力及基底翘曲测试设备产品信息

薄膜应力及基底翘曲测试设备简介
FSM推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆（Optilever）技术，主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹，分层，突起和空隙是如何形成的问题。FSM128系列设备，适合在半导体，三-五族，太阳能，微机电，数据存储和液晶面板行业的下一代器件的研发和生产中使用。

快速&非接触激光扫描

3-D 视图 &轮廓图

可在室温&高温环境下测量

适用晶圆尺寸 50-300mm(如有其它尺寸测量需求可定制)
可使用机械手臂搬送晶圆

主要设计特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容测量50-200mm尺寸晶圆，而无需更换晶圆样品载片台。FSM 128系列其它型号主要针对其它尺寸样品设计。(例如：FSM128L可以测量大到300mm尺寸的晶圆样品，而FSM 128G则专门设计来测量尺寸大到650 x 550mm的面板样品)
· 样品容易放置和回收
设计的可自动伸缩开关门机构，方便从样品载片台上放置和回收晶圆样品，使多片晶圆测量变得轻而易举。
· 自动切换双波段激光
FSM128系列具有的自动激光切换扫描技术.当样品反射率不好时，系统会自动切换到不同波长的另外一只激光进行扫描。这使客户可以测量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金属等几乎所
有的薄膜而不会遇到无法测量的问题。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配备有马达驱动的可旋转载片台，可以快速生成2-D&3D Map图帮助用户可以看到整片晶圆的曲率和应力变化分布，并准确反映出工艺和均匀性有问题的区域。
· 薄膜厚度
FSM128可以整合介电材料薄膜的厚度测量功能，使设备变成一台可以在研发和生产环境下灵活使用*的桌面型设备。