- 主要特点-
尺寸小巧
埃米级分辨率
有1、2或3通道可配电涡流探头
可配13种电涡流探头
工作温度:0~70ºC(补偿范围15~55ºC)
符合CE和RoHS标准
输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)
供电电压:15~30V,<50mA(有容错保护、短路保护)
-应用领域-
光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

- 技术规格-

- 测量原理-
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