1、针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量;
2、SMARTAcquire简化了采集模式并采用已知的程序设置的测量范围输入;
3、Z-stitching干涉技术采集模式,可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面;
4、XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描;
5、使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建,实现了测量位置、调平、过滤和参数计
算的灵活性;
6、利用已知技术,从其他探针和光学轮廓仪转移算法;
台阶高度:纳米级到毫米级的3D台阶高度
纹理:3D粗糙度和波纹度
形式:3D翘曲和形状
边缘滚降:3D边缘轮廓测量
缺陷复检:3D缺陷表面形貌

















