等离子体处理设备由离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成,该设备可以在真空状态下将气体进行电离,形成等离子体,等离子体区别于物质常见的固、液、气三种存在形式,它是一种准中性电子流,是正离子和电子密度大致相等的电离气体,在等离子状态下脱离原子束缚的电子和原子,中性原子,分子和离子做无序运动,具有很高的能量，这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,可以得到各种表面改性，因此可以对塑料、金属、玻璃、橡胶等材质进行表面处理。并且等离子体作用过程是气-固相干式反应,不消耗水资源,无需添加化学药剂,是一项环保技术;作用温度接近常温,特别适用于高分子材料;仅涉及材料浅表面(10-1000A)。可在保持在自身材料特性的同时,赋予其一种或多种新的功能。
产品参数：
| 型号 | NE-PE210F |
| 功率 | 0-1200W可调 |
| 电源频率 | 13.56MHz |
| 腔体材质 | 航空铝材 |
| 腔体容积 | 600(W)*600(D)*600(H)mm; 210L |
| 单层有效处理面积 | 560(W)mm x 520(D)mm |
| 电极板数量 | 8层（可定制可拆卸） |
| 气路数量 | 2路气体 |
| 控制方式 | PLC+10寸触摸屏 |
| 电源供应 | AC380V,50/60Hz，三相五线100A |
产品应用：
1、清洗：去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等
2、活化：亲疏水改性、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等
3、刻蚀：表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等
4、键合：PDMS等微流控器件键合
5、去胶：光刻胶灰化、扫底膜等
