参考级Z向位移台
极其精确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳馈通的交叉滚柱导轨。应力消除铝基座可实现高稳定性。带直流电机和两相步进电机的驱动器变型。非接触式限位开关。
位置测量
电机轴上带集成式旋转编码器（带直流电机的变型）。
集成线性编码器。运动平台的直接位置测量，动力传动系统中的机械游隙或滞后对定位精度无影响
应用领域
工业和科研，如半导体检验、光纤对准。
| 6635911030 | 6635921030 | 66359x1230 | 单位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 带直流电机和旋转编码器的Z向位移台 | 带步进电机的Z向位移台 | 也带线性编码器（直接位置测量） | |||
| 主动轴 | Z | Z | Z | ||
| 运动和定位 | |||||
| 行程 | 13 | 13 | 毫米 | ||
| 集成传感器 | 旋转编码器 | 线性编码器 | |||
| 传感器分辨率 旋转编码器 | 5000 | 步/圈 | |||
| 设计分辨率 | 0.0134 | 1.34（全步） | 0.05 | 微米 | 典型值 |
| 最小位移 | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 微米 | |
| 单向重复精度 | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 微米 | |
| 空回 | 2 | 2 | 微米 | ||
| 双向重复性 | 3 | 3 | ±0.1 | 微米 | |
| 串扰，角度误差xry（螺距） | ±100 | ±100 | 微弧度 | ||
| 串扰，角度误差xrz（偏转角） | ±100 | ±100 | 微弧度 | ||
| 速度 | 6 | 6 | 毫米/秒 |
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| 机械特性 | |||||
| 负载容量 | 200 | 200 | 牛 |
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| 保持力 | 30 | 60 | 牛 |
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| 驱动特性 | |||||
| 电机类型 | 直流电机 | 两相步进电机 | |||
| 工作电压 | 0至±12 | 伏 | |||
| 电机功率 | 17 | 瓦 | |||
| 限位开关 | 光学 | 光学 | |||
| 其他 | |||||
| 工作温度范围 | -20 到 50 | -20 到 50 | °C | ||
| 材料 | 铝，阳极氧化致黑 | 铝，阳极氧化致黑 | |||
| 推荐控制器/驱动器 | C-863（单通道） | SMC Hydra（双通道） C-663（单通道） | SMC Hydra（双通道） |
