产品简介
提供超低泄露率的密闭环境，高纯惰性气体的环境氛围，设备形体分为单面操作和双面操作两种，控制柜及净化循环系统采用集成式，占用空间最小化。系统能实现气压自动控制，掉压自动补气；水氧含量实时监测；气体循环无级变速适应；稳定的安全提示以及错误闭环诊断。可与东谱科技的SteeVac/AluVac系列真空蒸镀仪以及市场上各种不同品牌的镀膜设备、配件灵活对接，满足各种不同的客制化要求。
工作原理
操作箱与气体循环净化系统组成具有超低泄露率的惰性气体环境。通过惰性气体的注入，以及循环净化系统的深度处理，清除操作箱内的水、氧、有机活性分子等成分，使操作箱内的水氧数值均低于1ppm以下。
产品特点
□ 可配置单工位/双工位；
□ 水含量：≤ 0.1 ppm；
□ 氧含量：≤ 0.1 ppm；
□ 可集成Oriental Spectra的手套箱原位检测设备。
配置参数
基础性手套箱系列 | 占地尺寸 | 工位描述 |
S100-A | H1900×L1800×W800 | 单面单工位 |
S100-B | H1900×L1800×W1200 | 双面单工位 |
L200-A | H1900×L2400×W800 | 单面双工位 |
L200-B | H1900×L1800×W1200 | 双面双工位 |
设备所用材料 | 不锈钢 | 内表面镜面/拉丝外表面喷塑 |
前面板视窗 | 特种钢化玻璃 | 8mm厚，倾斜式视窗 |
照明灯 | 100W | 视窗上方安装，带保护罩 |
过滤器 | HEPA，孔径小于0.3μm | 安装于进出气口 |
置物台 | 不锈钢材质，双层或三层 | 带五级高度调节 |
备用接口 | DN快装法兰 | USB、SMA等通用接口 |
水分析仪 | 测量范围0~1000ppm | 精度2% |
氧分析仪 | 测量范围0~1000ppm | 精度2% |
控制界面 | 触摸屏 | 7寸，自动控制 |
真空泵 | 高性能油泵 | 4L/S |
净化柱 | 不锈钢材质 | 净化能力：水氧<1ppm |
大过渡舱 | ||
材质尺寸 | 不锈钢，D400×L600 | |
控制方式 | 手动 | |
舱门及托盘 | 双舱门，旋压式，带气压臂助力；不锈钢导轨托盘 | |
可选配置 | 圆形、方形、带视窗等 | |
小过渡舱 | ||
材质尺寸 | 不锈钢，D150×L200 | |
控制方式 | 手动 | |
舱门及托盘 | 单舱门，扣压式；不锈钢导轨托盘 | |
真空压差 | <-0.1 Mpa | |
BoldyTree拓展介绍
1、循环净化手套箱在器件研究的应用
（1）、半导体与电子器件领域
晶圆与芯片封装
在惰性气体氛围下进行晶圆切割、键合、芯片封装，防止空气中水汽、氧气导致的芯片氧化、漏电。
MEMS 器件制备
进行 MEMS 传感器的敏感结构沉积与组装，避免粉尘污染与氧化，确保器件力学与电学性能一致性。
量子器件制造
制备超导量子比特、量子点器件等，在超低氧水条件下处理超导材料与半导体材料，避免缺陷产生，保障量子特性。
（2）、光电材料与器件领域
钙钛矿太阳能电池研发
完成钙钛矿前驱体涂覆、薄膜退火、电极沉积等全流程制备，抑制水汽导致的钙钛矿薄膜降解。
OLED / 量子点 LED 制备
蒸发有机发光层、电子 / 空穴传输层及金属电极，避免氧气、水汽导致的材料氧化与发光效率衰减。
二维材料与光探测器制备
转移石墨烯、MoS₂等二维材料，制备光探测器的敏感层与电极，防止材料氧化与污染。
（3）、新能源材料领域
锂离子电池 / 固态电池研发
制备电池电极、组装扣式 / 软包电池，避免电解液水解、电极氧化。
燃料电池催化剂制备
合成 Pt/C、Pd 基等催化剂，避免金属纳米颗粒氧化团聚，保障催化活性。
超级电容器电极制备
处理活性炭、石墨烯等电极材料，进行电极成型与组装，防止材料吸潮导致的电容衰减。
（4）、化学与催化领域
无水无氧有机合成
进行格氏反应、金属有机化合物合成等对空气敏感的反应，避免反应物氧化、水解。
催化剂活性评价
原位表征催化剂的结构与活性，避免空气干扰。
敏感化学品存储与处理
存储碱金属、易燃易氧化试剂，进行取样与转移，防止燃烧、爆炸风险。
（5）、生物医学领域
细胞与组织培养
进行厌氧微生物、干细胞的培养，控制气体氛围，模拟体内生长环境。
生物材料制备
合成生物相容性材料，进行药物载体封装，避免材料降解与药物失效。
器械表面改性
对人工关节、心脏支架等进行表面涂层，提升生物相容性，避免涂层氧化。
2、产品主要测试功能特点
（1）、氛围精准调控，满足严苛需求
精准控制 O₂≤1ppm、H₂O≤1ppm，型号可降至 0.1ppm 以下，适配钙钛矿、超导材料等对氛围敏感的场景。
支持惰性气体切换与配比调节，部分型号可引入 CO₂、H₂等特种气体，满足厌氧培养、催化反应等需求。
采用 PID 闭环反馈控制，实时调节净化循环与气体补给，确保氛围参数长期稳定。
（2）、高效净化循环，低耗耐用
集成高效吸附柱，可快速吸附 O₂、H₂O，净化效率高。
循环泵采用低噪音、长寿命设计，气体循环速率均匀，保障箱内净化。
吸附剂更换便捷，寿命长达 1000 小时以上，降低维护成本与停机时间。
（3）、高密封性与安全防护，稳定可靠
箱体采用不锈钢焊接结构，搭配氟橡胶密封件，泄漏率≤10⁻⁶Pa・m³/s，杜绝空气渗入。
手套选用耐酸碱、高弹性材料，操作灵活且气密性好，反复屈伸后无破损风险。
内置多重安全保护：超标报警、低气压报警、紧急泄压阀、气体泄漏检测，保障人员与设备安全。
（4）、灵活兼容与扩展，适配多元场景
箱体尺寸可定制，内部可集成手套、传递舱、操作台、电源接口，满足制备、封装、测试等一站式需求。
支持外部设备对接，如真空镀膜仪、光谱仪、电极工作站等，实现敏感材料制备与原位表征一体化。
适配多种样品形态，兼容半导体、光电、新能源、化学等多领域应用。
（5）、智能化与便捷操作，提升效率
配备触控屏与专用软件，实时显示 O₂、H₂O、温度、压力等参数，支持数据存储、导出与远程监控。
自动化程序控制：一键启动净化循环、传递舱抽充气、参数报警阈值设置，减少人为操作误差。
维护便捷：吸附柱、手套等易损件可快速更换，真空泵、循环泵模块化设计，便于检修。
