简介
阴极荧光系统（Cathodoluminescence, CL）通常配置在扫描电镜或透射电镜中，能够实现形貌观察、结构和成分分析同阴极荧光光谱的结合研究，实现全光谱荧光扫描成像。阴极荧光激发所用的电子束束斑非常小，能量高；相比于光致发光（ Photoluminescence, PL）阴极荧光具有高空间分辨、高激发能量、宽光谱范围、大激发深度等特点，并能够实现全光谱荧光扫描成像。阴极荧光系统结合扫描电子显微镜能够在小尺度对半导体材料与器件、荧光材料（地质、考古材料）等实现形貌观察、结构和成分分析同阴极荧光光谱的结合研究，在半导体、微电子、材料、物理、地质、考古等领域得到了广泛的应用。特别在微米、纳米尺度的半导体量子点、量子线等荧光物质的发光性质及电子结构的的研究领域，阴极荧光技术具有重要的应用价值。
