简介
FT-NMT04纳米机械测试系统是一种多功能的原位扫描电镜/光纤纳米压头，能够准确量化材料在微观和纳米尺度上的力学行为。
作为一个基于MEMS的纳米压头，FT-NMT04基于专用的Femtotools微电子机械系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压头具有的分辨率、重复性和动态响应。 FT-NMT04原位纳米压头用于金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微观结构的力学测试。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的性能可以扩展到各个研究领域的通用要求。 典型的应用包括通过对微孔的压缩试验或对骨标本、薄膜或纳米线的拉伸试验来量化塑性变形机制。此外，压缩试验过程中的连续刚度测量可以量化微梁断裂试验过程中的裂纹扩展和断裂韧性。由于500 pn和50 pm的低噪声地板分别，FT-NMT04浅纳米压痕具有的重复性，以及纳米压痕与EBSD映射的相关性。
二、 功能
l 主要功能
FT-MNT04原位SEM纳米压痕仪，可以做纳米压痕、微柱压缩测试、微悬臂梁断裂测试、为拉伸测试、STEM/EBSD相关的原位纳米机械测试。其中纳米压痕功能可以进行低体积材料硬度和杨氏模量的测定、定 接触力学和动力响应的量化、多轴应力下变形机理的表征；微柱压缩测试功能可以进行滑动系统临界剪切应力的测定、单轴应力下变形机理的表征、延伸损伤和局部应变量化；微悬臂断裂测试功能可以进行亚微米断裂韧性连续J积分、单调循环断裂行为的表征、单个裂纹产生和扩展的量化。微拉伸测试功能可以进行屈服应力、极限拉伸应力和断裂伸长的测定、单调循环载荷下断裂的表征、局部应变效应和裂纹扩展的量化；STEM/EBSD相关的原位纳米机械测试功能可以进行局部应变的定量研究、相变的定量研究、纹理演化的定量研究、位错动力学定量研究、晶界迁移的定量研究 。
l 技术特点
纳米压痕、压缩、张力、断裂和疲劳试验
无需复合、动态校准即可进行连续硬度测量或疲劳测试
高温测试温度可达400℃
压头面积函数和框架合规性的简单确定
功率数据分析工具，用于评估测量结果和拟合功能计算材料性能
可快速安装和移除SEM腔室
紧凑，模块化的设计能够集成到几乎所有的扫描电镜中
可定制测量程序
l 技术能力
力感测
-力：200 mN
-力噪声地板：0.5 nN（10 Hz时）
-测量频率高达96 kHz
位移传感（粗）
-位移范围：21 mm
-位移噪声：1nm（10Hz）
-测量频率：50Hz
位移传感（精细）
-位移范围：25μm
-位移噪声：0.05nm（10Hz）
-测量频率高达96 kHz
3、4和5轴力传感器与样品对准
-X、Y、Z闭环定位范围：21mm x 12mm x 12 mm
-X、Y、Z闭环定位噪声：1nm
-样品倾斜范围：90°
-样品旋转范围：360°(FT-NMT04-XYZ-R)，180°(FT-NMT04-XYZ-RT)
-样品角噪声：35微度
