Park Systems推出革命性的NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。借助的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，NX-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可实现带有高长宽比的柔软光刻胶的无损测量。
纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变形异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现了快速的软硬件更换，使得升级更为划算，从而不断优化复杂并且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，而我们的True Non-Contact™模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。
基本技术
200 mm电动XY平台 | 300 mm电动XY平台 | 电动Z平台 |
行程可达275mm x 200mm, 0.5 μm分辨率 | 行程可达400 mm x 300 mm， 0.5μm分辨率 小于1μm的重现性 | 27 mm Z行程距离 0.08μm 分辨率小于1μm |
Z扫描范围 | Z扫描噪音 | Z向探针噪音 |
15μm（大模式）分辨率 0.016nm 2μm （小模式）分辨率 0.002nm | 小于0.05nm | 0.02 nm |
200mm 系统 | 300mm 系统 | 设备需求环境 |
1500mm x980mm x 2050 mm 大约1020kg | 1840mm x 1170 mm x2050 mm 大约 2950 kg | 室温10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 湿度 30%~60% |
主要功能
一种创新的3D测量方法
侧切和外伸轮廓；临界尺寸；侧壁粗糙度测量
工业界的噪音
静电消除系统确保稳定的扫描环境
自动测量控制，提高效率
应用
临界尺寸和侧壁测量
A、光刻胶致密线纹的横截面SEM图像;B、三维AFM图像;C、模板AFM轮廓线
