BPG402-S.pdf
INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空计(大气压至超高真空)
INFICON B-A型皮拉尼复合真空计，BPG402-S，将两种真空计集成在一个简单小型的单元内，测量范围从5X10-10毫巴至大气压（3.8X10-10乇至大气压）。复合技术降低了安装，设置和集成的复杂性。选择一个经济型规管内的BPG402-S带有两根敷涂铱的氧化钇灯丝，用于普及和可再现过程中的基本压强测量。当更换传感器时，带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性。
这种 Bayard 热电离（双丝极）皮拉尼结合真空计 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列热电离皮拉尼发射器：
好处
从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
双长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性
符合 RoHS 标准
新闻
新！ 现在提供 EtherCAT 数字接口！
典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
*性：
1、 极宽的测量范围从5X10-10毫巴至大气压（3.8X10-10乇至大气压）
2、 的重复性，过程压强范围从10-8…10-2毫巴均为5%
3、 皮拉尼联锁保护B-A型系统，防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生污染
4、 两根敷涂铱的氧化钇长寿灯丝
5、 可选图形显示和Fieldbus接口
6、 自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预
7、 易于更换传感元件，带有在机校准数据保证高度的重复性
8、 符合RoHS
用途：
1、 半导体工艺过程和传输室中的压强测量
2、 工业镀膜
3、 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制
