技术规格
类型 | WET | DRY | FLEX |
可检测的氦泄漏率mbar.L/s | |||
真空操作 | ≤ 5 x 10-12 | ≤ 3 x 10-11 | ≤ 5 x 10-12(配泵) |
吸枪操作 | ≤ 7x10-9 | ||
可测氦泄漏率 mbar.L/s (真空操作) | >0.1 | ||
检测范围 | 12个数量级 | ||
允许进口压力 | 15mbar | ||
泵送速度50hz / 60hz | 2.5/3 m3/h | 1.6/1.8 m3/h | N/A |
在精细模式下的氦抽运速度 | 3.1L/s | ||
泄漏率信号的时间常数 | <1s | ||
启动时间 | ≤2min | ||
功率 | 420VA | 350VA | 200VA |
入口法兰 | NW25 | ||
尺寸mm | 495x456x314 | ||
重量 | 40Kg | 35.5Kg | 30Kg |