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MSB系列中频溅射电源

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具体成交价以合同协议为准

公司名称四川英杰电气股份有限公司
品牌
型号
所在地德阳市
厂商性质其他
更新时间2024/10/24 14:09:33
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公司介绍主营产品

四川英杰电气股份有限公司成立于1996年，是专业的工业电源设计及制造企业，于2020年2月13日在深交所创业板上市，代码：300820。公司是国家企业、国家知识产权优势企业、国家专精特新“小巨人”企业、四川省百家优秀民营企业。公司位于“中国重大技术装备制造业基地”——四川省德阳市，占地80余亩。二十多年来，公司始终以自主研发、持续创新为核心，专注于以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源设备的研发制造，产品广泛应用于石油、化工、冶金、机械、建材等传统行业以及光伏、核电、半导体、环保等新兴行业。

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英杰电气中频溅射电源凭借优异的波形调制技术，可实现输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯型波等波形。产品具有输出波形可调，输出频率可选，占空比可调，功率控制精准，以及低能量存储和快速的电弧反应。为镀膜工艺提供便利、精准的控制。产品主要应用于各种薄膜制造工艺，太阳能电池片行业，真空镀膜行业；应用工艺：磁控溅射工艺、孪生靶溅射、管式PECVD。

MSB系列中频溅射电源产品信息

● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应，响应时间＜100ns
● 低能量储存，＜0.5mJ/kW
● 采用多相交错PFC技术，功率因数高达0.95
● 输出模式多样，可实现连续、断续模式可选择
● 逆变回路采用全软开关技术，采用第三代半导体SiC作功率器件，效率优异

输入	输入电压：3AC380V、50/60Hz	功率等级：20kW
输入	输出路数：2路
输出	输出电流：50A*2	输出电压：600V*2
技术指标	功率因数：0.95	转换效率：94% 额定状态下±0.5%
	调节精度：±0.5%	电弧响应时间：<100ns
	尺寸：4U	通讯：标配RS485/RS232(可选配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。