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离子溅射仪3

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  • 公司名称南京南大仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地南京市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/10/4 19:43:41
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南京南大仪器有限公司(原南京南大仪器厂)是南京大学直属校办工厂。 工厂成立五十年来,以南京大学雄厚的科研实力为依托,始终坚持为教学、 科研服务,结合科研与生产实际,与有关院系合作,先后开发出轰击仪, 直线加速器、太阳塔以及锁相放大器、穆斯堡尔谱仪、行星式球磨机、 真空手套箱等。这些产品多次荣获国家进步二等奖、国家教委一等奖、 二等奖,省科技进步奖等。在进入二十一世纪以后,工厂注册了“争先” 牌商标,树立“创民族品牌,南大争先”这一企业宗旨,瞄准水平, 开发和制造出一系列具有自主知识产权的高科技产品,为我国的科研、教学服务!
产品介绍:LZ-Ⅱ离子溅射仪镀膜基本原理是基于荷能正离子轰击靶电极产生溅射现象,靶被溅射出来的中性原子沉淀于基台上样品表面成膜,形成导电层。
离子溅射仪3 产品信息

LZ-Ⅱ离子溅射仪镀膜基本原理是基于荷能正离子轰击靶电极产生溅射现象,靶被溅射出来的中性原子沉淀于基台上样品表面成膜,形成导电层。

用途:

  LZ-Ⅱ离子溅射仪是一种小型镀膜装置,可用作扫描电镜、电子探针等仪器进行试样制备,是开展教学科研实验的仪器。

  镀膜原理与结构:

  LZ-Ⅱ离子溅射仪镀膜基本原理是基于荷能正离子轰击靶电极产生溅射现象,靶被溅射出来的中性原子沉淀于基台上样品表面成膜,形成导电层。

  该离子溅射仪为二极结构,以基台和样品架为正电极与仪器外壳相连并接地,溅射靶电极为负电极(加负高压),它们被安装在玻璃罩的真空腔内,当腔内达到一定真空度,在负高压的作用下发生辉光放电产生等离子体,其中正离子在电场加速下,获得足够能量轰击负电极上的靶面,靶面被溅射原子沉淀于基台的样品表面形成导电膜,以供上述仪器分析。

  技术参数:

  1、型号:

  1、真空腔:¢150×12 硼酸硅质玻璃

  2、溅射靶尺寸:¢55×0.3

  3、基台: ¢50 6-8个样品

  4、极间距调节范围20-40mm

  5、溅射电压: -2000V-0 DC连续可调

  溅射电流0-30 mA

  6、定时器:0-99分数字显示

  7、真空测量:1×105-1.0×10-1pa 数字显示,单片机控制,数字显示,具有真空保护锁设置。

  8、控制系统:单片机控制,完成真空自动测量、显示、定时器倒计时功能以及自动完成镀膜程序。

  9、真空泵:2L/S二级旋片式直联机械泵,极限真空度6×10-1pa

  10、充气阀:金属微调针型阀 保护气体 99.9%纯度氩气(推荐)

  11、外形尺寸:长354mm ×高216mm ×深340mm

  12、电源:AC 220V 50HZ

  特点:

  1、人性化设计,整体性好;

  2、单片机控制,操作方便简洁;

  3、用户可根据实验需要自由设置溅射操作的工艺参数,使用灵活、方便;

  4、仪器有真空锁保护设置,使仪器可靠性安全性好;

  5、本产品已获得国家,号:.0




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