落地式结构,一体化多层防震结构
3000系列推出的系列机台,外观更加美观大气,抗振效果更佳。
搭载温度传感器
仪器搭载了温度传感器,软件界面实时显示外界温度,可监控仪器在不同温度状态下的精度表现。
大量程高精度轮廓传感器
轮廓测量·高精度传感器
指示精度:≤±(0.6+|0.1H|)μm
自主研发宽范围粗糙度传感器
粗糙度测量·高分辨率传感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
粗糙度测量·高分辨率传感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
技术参数 | ||||
规格号 | 型号 | |||
CBE2000系列 | CBP2000系列 | CBE1000系列 | CBP1000系列 | |
X向量程 | 100-200mm可选 | |||
Z向量程 | 320-620mm可选 | |||
Z1向量程 | 0~±20mm可选 | |||
轮廓传感器线性精度 | ≤(0.3+0.07%f.s.)μm | ≤±(0.6+5|H|/100)μm | ≤(0.5+0.12%f.s.)μm | ≤±(1.3+|6H|)μm |
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