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加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计

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  • 公司名称武汉泰和丰顺光电有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/6/18 13:13:03
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泰和光电位于“武汉?中国光谷”, 是国内的红外光电仪器设备及电源全面解决方案的供应商。我们在武汉、广州设有多个产品事业部。除了强大的销售和技术支持网络之外,同时在香港、武汉、广州还设有售后服务中心和产品仓库,并在各事业部配有售后服务人员。 泰和光电致力于测试检测仪器及电源设备的经营,产品涉及红外热像仪、红外测温仪、气体检漏成像仪、超声波检漏仪、高速摄像机、氢氦质谱检漏仪、真空计等光电真空仪器仪表以及直流屏、交直流一体化电源、EPS应急电源、UPS不间断电源、消防应急照明疏散指示系统、智能消防巡检控制系统、高低压成套电气设备。我们的产品广泛应用于电力、石化、冶金、建筑、消防、科研、、交通夜视及等领域。我们拥有经验丰富的员工团队,可以为客户提供的服务。凭借着这些才华横溢的员工们的奉献精神和责任心,泰和光电从单一的仪器供应商迅速发展成为各领域检测仪器设备全面解决方案的提供者。 我们深信只有艰苦奋斗才能赢得客户的尊重与信赖。因此,我们坚持以客户为中心,持续为客户创造长期价值进而成就客户。
加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计 加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计高温应用性能良好
加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计 产品信息

益处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口用于快速维修和维护
  • 两年保修服务,的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 的信号稳定性和可重复性,即使是的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
  • 化学和腐蚀性高温过程
  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

规格

类型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
温度效应      
零点 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
满量程 % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
压力, kPa (absolute) 400 260 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
读数 percent FS 0.01 0.01 0.01
建议的读数 percent FS 0.05 0.05 0.05
建议的控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5
温度      
运行(周围环境)(5) °C +10 … +50    
在法兰处烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +65 –40 … +65 –40 … +65
电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗      
加热时 W ≤20 ≤15 ≤15
运行温度 W ≤14 ≤10 ≤10
输出信号(模拟) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反应时间 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
保护等级 IP 40 IP 40 IP 40
标准      
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 (5) SEMI S2    
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