INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力。 HPG400 型真空计为**的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。 HPG400 大气压至高真空真空计
益处
典型应用
INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力。 HPG400 型真空计为**的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。 HPG400 大气压至高真空真空计
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