MSP500 薄膜分析仪

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简介

　　MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。

产品详情

规格参数

　　波长范围：250nm到1700 nm

　　波长分辨率: 1nm

　　光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

　　基片尺寸：zui多可至20mm

　　测量厚度范围: 20Å 到25 μm

　　测量时间：zui快2毫秒

　　精度*：优于0.5%(通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

　　重复性误差*：小于2 Ǻ

　　可选配件项

　　l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(～2500nm)

　　2 可根据客户的特殊需求来定制

　　3 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷

　　4 可选择的平台尺寸可测量300mm大小尺寸的样品

　　5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

　　6 各种滤光片可供各种特殊的需求

　　7 可添加应用于荧光测量的附件

　　8 可添加用于拉曼应用的附件

　　9 可添加用于偏光应用的附件

应用系统

　　主要应用于透光薄膜分析类领域：

　　l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

　　2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　5 半导体化合物

　　6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

　　7 非晶体，纳米材料和结晶硅