
好处
1,测量范围从 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9至 5 × 10-2Torr)
2,双标准长使用寿命氧化钇铱丝
3,一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
4,带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程
5,用户可编程的设定点继电器
6,用户可编程的显示器单位:mbar、Torr 或 Pa
7,用户可选的发射电流自动设换范围
8,机械强度和坚固性
9,各种法兰的选择
10,易于更换的传感元件
11,合规和标准:CE、RoHS
12,直接取代 Granville-Phillips®354 Micro-Ion®模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)(Granville-Phillips®和 Micro-Ion®是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)
我们从现在开始接受订单!
1,对半导体过程和传输腔室的压力测量
2,工业镀膜
3,低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制


















