产品详情
1:一侧GB测角仪能测晶圆片;能测Φ4---Φ6英寸, 长400mm晶棒端面,如硅:(111)蓝宝石C、R面等其它晶体的角度。
2:另一侧GF测角仪配置一个高度可调籽晶测试架,测Φ5—20mm圆或方型,长150mm籽晶端面, 如硅:(111)蓝宝石C 面等其它晶体的角度。
X 射 线 管 | 铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
管 电 压 | 30KVP,全压合闸 |
管 电 流 | 0-5mA,连续可调 |
整 机 功 率 | 交流220V 不大于0.3KW |
综 合 精 度 | ±30″ |
蜗轮运动误差 | 不大于30″ |
角度数字显示 | 以度、分、秒显示,最小读数10″ |
计数器旋转角度 | 2θ角-10° ~ +110° |
晶体旋转角度 | θ角-10° ~ +55° |
计 数 管 | 盖革计数管,工作电压500 ~1100V |
时 间 常 数 | 分0.1、0.4、3秒三档可调 |
保 护 | 高压连锁保护,温度保护 |
狭 缝 | 4′、5′、6′ |
测 量 方 式 | 手动测量 |
可测籽晶直径 | Φ5-20mm,长150mm方或圆籽晶 |
工 作 位 | 双测角仪、双工作位 |
外 型 尺 寸 | 长1140mm×宽650mm×高1250mm |
仪 器 重 量 | 200kg |
X射线晶体定向仪JZ-YX3技术指标
X射 线 管 | 铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
管 电 压 | 30KVP,全压合闸 |
管 电 流 | 0-5mA,连续可调 |
整 机功 率 | 交流220V 不大于0.3KW |
综 合 精 度 | ±30″ |
蜗轮运动误差 | 不大于30″ |
角度数字显示 | 以度、分、秒显示,最小读数10″ |
计数器旋转角度 | 2θ角:-10°------ +110° |
样品晶体旋转角度 | 1θ角:-10°------ +55° |
计 数 管 | 盖革计数管,工作电压500-----1100V |
时 间常 数 | 分0.1、0.4、3秒三档可调 |
保 护 | 高压连锁保护,温度保护 |
狭 缝 | 4′、5′、6′ |
可测晶体重量 | 最重30kg的晶棒 |
可测晶体直径 | Φ4-----Φ12英寸晶圆片 |
可测晶棒长度 | 180毫米长晶棒 |
工 作 位 | 双测角仪、双工作台 |
(适用晶棒掏籽晶定向、籽晶定向)
1、一侧配钻籽晶专用夹具,对晶棒端面进行定向硅(111,100)蓝宝石C、
等,能测Φ4---12英寸,长180mm晶棒;
测试好:拿下夹具,然后在切割机或籽晶钻床等机床上加工圆籽晶。
夹具直径100~260毫米(可选)
2、另一侧对上述切割好的籽晶条端面进行定向;
设 备 报 价
两台设备的市场价格:
JZ-2D6A型 市场报价为:68000
JZ-YX3型 市场报价为:66000
注:上述设备均含与安装调试费,货期一周
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