详情介绍：
规格
| 模型 | 高、高清 | 大号 | 印刷电路板 |
|---|---|---|---|
| 测量对象 | 单层镀、2层镀、3层镀、合金镀 | ||
| 测量元件 | 21 (Sc) -92 (U) | ||
| 检测范围 | 0.01 μm ~（取决于测量元件） | ||
| X 射线管 | W 靶、真空油冷、管内电流（0 至 1mA） | ||
| 探测器 | 比例系数管法（半导体探测器可选） | ||
| 准直器 | 单准直器或自准直器 （φ0.1、φ0.2、φ0.3、φ0.4、0.05 × 0.3mm） | ||
| 样品台移动 | XYZ步进电机 | ||
| 样板间摄像头 | 数码CCD相机标准设备 | ||
| 可测量范围（mm） | W200xD150xH100 | W200xD150xH30 | 宽∞xD150xH30 |
| 允许负载（公斤） | 五 | 3 | 3 |
| 设备外形尺寸（mm） | W610xD670xH600 | W610xD670xH490 | W610xD670xH490 |
监视器显示
从工具栏中选择的各种屏幕可以在显示器的任何位置只显示您需要的内容，有助于提高工作效率。测量数据可以多种形式报告。您可以通过选择必要的信息轻松创建报告。
用法
▽ 通过安装专用治具大大提高了工作效率
▽ 通过高速移动样品台减少工作时间
▽ 专用准直器和程序的高再现性
▽ 使用附带的开关，轻触按钮即可轻松操作
▽ 用于连续测量大型基板的 3 路开放式腔室
▽ 使用各种坐标输入程序的高速连续测量
▽ 0.01 μm 以上的 Au 和 3 层镀层的高灵敏度测量
▽ 合金镀层同时测量厚度和成分比
▽ 可根据被测物体的形状选择各种准直器
▽ 用于小型测量对象的微聚焦 X 射线管
▽ 支持大物体、复杂形状的测量
