主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●适用于中等蒸气压材料的蒸镀
●独立的双温区控温，每个温区单独可调，有效防止材料在口
●优异的温度稳定性，控温精度±0.1℃
●有效提高UHV系统的使用寿命
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学；超薄膜层；多分子层
● 掺杂；样品制备；密接金属化
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学；超薄膜层；多分子层
● 掺杂；样品制备；密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ④ M: 中温（400-1400℃） ⑥ 可选 M：手动，P：气动
⑧ C: Type C；K：Type K ⑨ DF：双灯丝
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ④ M: 中温（400-1400℃） ⑥ 可选 M：手动，P：气动
⑧ C: Type C；K：Type K ⑨ DF：双灯丝
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 安装法兰 | DN40CF (O.D. 2.75”) |
| 腔内长度 | 标准长度210mm 210mm-400mm可选 |
| 腔内直径 | 36.5mm |
| 工作温度 | 400-1400℃ |
| 加热方式 | 钽丝加热 |
| 温度稳定性 | ±0.1℃ |
| 温度测量 | K型热偶（400-1100℃） C型热偶（400-1400℃） |
| 除气温度 | 1450℃ |
| 烘烤温度 | 200℃ |
| 源数量 | 1 |
| 坩埚材料 | 氧化铝,热解氮化硼,石英,可定制其他材料 |
| 坩埚容积 | 10cc（其他尺寸可定制） |
| 冷却方式 | 一体式分段水冷 |
